Books
2019
	最新　実用真空技術総覧 (最新　実用真空技術総覧　編集委員会　編編), 共著, 担当：第１部真空工学の基礎：第５章低圧放電とプラズマ(NTS, 2019) pp.81-95.
2017
	プラズマプロセス技術 - ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー (プラズマ・核融合学会編編), 共著, 担当：第３章プラズマ気相反応とナノ表面反応の基礎(森北出版，東京, 2017) pp.62-89. ISBN978-4-627-77561-9
2018
	プラズマCVDにおける成膜条件の最適化に向けた成膜機構の理解とプロセス制御・成膜事例 (サイエンス＆テクノロジー編), 共著, 担当：第１章　目的に応じた成膜方式の選定，第２章　適切に制御するための「物理的側面」の理解，第３章　適切に制御するための「化学的側面」の理解，第４章　最終的な膜構造に直結する表面反応の機構(サイエンス＆テクノロジー, 2018) pp.1-164.
	電気回路学基礎 (白藤 立編), 単著, (プレアデス出版，長野, 2018) pp.1-400. ISBN978-4-903814-89-6
2017
	プラズマプロセス技術 - ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー (プラズマ・核融合学会編編), 共著, 担当：第３章プラズマ気相反応とナノ表面反応の基礎(森北出版，東京, 2017) pp.62-89. ISBN978-4-627-77561-9
2011
	水の応用工学 (高井治編), 共著, 担当：第１部水の科学　第１章水と文明(日刊工業新聞，東京, 2011) pp.1-27. ISBN-10: 4526066702, ISBN-13: 978-4526066702
	Sterilization and Disinfection by Plasma: Sterilization Mechanisms, Biological and Medical Applications (Akikazu Sakudo, Hideharu Shintani編), 共著, 担当：3.2 Plasma Sources for Plasma Sterilization(Nova Science Publishers , 2011) pp.111-122. ISBN-10: 1616687827, ISBN-13: 978-1616687823
2010
2009
	マイクロプラズマ　基礎と応用 (橘 邦英編), 共著, 担当：第４章 マイクロプラズマの診断とシミュレーション，第５章 マイクロプラズマの応用(オーム社，東京, 2009) pp.109-170 171-254. ISBN-10: 427420703X, ISBN-13: 978-4274207037
	大気圧プラズマ　基礎と応用 (日本学術振興会プラズマ材料科学第１５３委員会編), 共著, 担当：第４−５−４節 大気圧質量分析法，第４−５−５節 大質量数粒子の計測(オーム社，東京, 2009) pp.193-198 198-204. ISBN-10: 4274207609, ISBN-13: 978-4274207600
2008
	薄膜ハンドブック第２版 (日本学術振興会薄膜第１３１委員会編), 共著, 担当：第１．７節 赤外吸収・ＡＴＲ(オーム社，東京, 2008) pp.209-210. ISBN-10: 4274205193, ISBN-13: 978-4274205194
2007
2006
2005
2004
2003
2002
2001
2000
1997
	最新プラズマプロセスのモニタリング技術と解析・制御 (林 康明編), 共著, 担当：第２．６章 フーリエ変換赤外吸収分光法による表面の解析・制御(リアライズ社，東京, 1997) pp.131-156. ISBN-10: 4947655984, ISBN-13: 978-4947655981