Lectures

2017
大気圧プラズマと液体の相互作用: 日本学術振興会プラズマ材料科学第153委員会 プラズマ材料科学スクール 大気圧プラズマの基礎:プラズマ生成,気相反応から表面相互作用まで, 2017年2月23日, 東京・千代田区麹町 弘済会館
2016
プラズマ生成の基礎とプラズマCVDのメカニズムおよび薄膜作製プロセス: 株式会社R&D支援センターセミナー 161239, 2016年12月14日, 東京・江東区亀戸 カメリアプラザ
プラズマ生成の基礎とプラズマCVD(化学気相堆積)による高品質薄膜の作成技術ノウハウ: サイエンス&テクノロジー セミナー B160727, 2016年7月27日, 東京・品川区大井町 きゅりあん
2015
Design and Architecture of Large Area Solution Plasma Processing and their Applications: Seminar in Center for Surface Technology and Applications, Korea Aerospace University, 2015年5月22日, Korea Aerospace University, Gyeonggi-do, Korea
速習!プラズマCVD(化学気相堆積法)による効果と高品質薄膜の作成ノウハウ: サイエンス&テクノロジー セミナー B150376, 2015年3月16日, 東京・品川区大井町 きゅりあん
2014
新しいプラズマのかたち “水中でものをつくる”: 日本真空学会関西支部 & 日本表面科学会関西支部合同セミナー 2014「大気圧プラズマ〜その基礎と新しい医療を目指した取り組み〜」, 2014年7月1日, 大阪大学豊中キャンパス 大阪大学会館
プラズマ化学気相堆積法(プラズマCVD法)による高品質薄膜の作製技術入門: サイエンス&テクノロジー セミナー B140327, 2014年3月27日, 東京・品川区大井町 きゅりあん
2013
第24回プラズマエレクトロニクス講習会〜プラズマプロセスの基礎と応用・制御技術の最前線〜: 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会, 2013年11月8日, 東京大学本郷(浅野)キャンパス武田先端知ビル
プラズマ化学気相堆積法(プラズマCVD法)による高品質薄膜の作製技術入門: サイエンス&テクノロジー セミナー A130730, 2013年7月30日, 東京・大田区蒲田 大田区産業プラザ
2012
2011
気液二相が関与するプラズマプロセスの応用とその理解: 応用物理学会関西支部 2011年度第2回講演会「プラズマ技術の進化と新しい展開」, 2012年1月27日, 大阪大学中之島センター 10階 佐治敬三メモリアルホール
プラズマ気相反応とナノ表面反応: (社)プラズマ・核融合学会 第24回専門講習会「ナノテク時代のプラズマ技術」, 2012年1月12日, 京都工芸繊維大学60周年記念館
2010
プラズマCVDプロセス: 第4回プラズマナノ科学技術に関する学術講習会および講演会, 2010年8月10日, 名古屋大学VBL
エリプソメトリ法: 応用物理学会東海支部 第16回基礎セミナー「薄膜の評価技術」, 2010年5月12日, 名古屋大学VBL
2009
2008
プラズマCVD の基礎: 第2回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール, 2008年9月24日〜26日, 滋賀・マキノパークホテル&セミナーハウス
2007
エリプソメトリ法: 応用物理学会東海支部 第11回基礎セミナー「薄膜の評価技術」, 2007年9月25日〜26日, 名古屋大学VBL
プラズマ及びプラズマプロセシング研究ツールとしてのCOMSOL Multiphysics: COMSOLカンファレンス2007, 2007年11月30日, 東京・秋葉原コンベンションホール 5F Conference Floor
2006
プラズマCVDによる高品質薄膜の成膜と成膜過程の解析: 技術情報協会セミナーNo. 612430, 2006年12月21日, 東京・芝・機械振興会館
プラズマCVDの気相表面反応: 第17回プラズマエレクトロニクス講習会, 2006年10月5日〜6日, 東京工業大学 大岡山キャンパス 百年記念館3F フェライト会議室
エリプソメトリ法: 応用物理学会東海支部 第9回基礎セミナー「薄膜の評価技術」, 2006年9月28日〜29日, 名古屋工業大学2号館F1教室
CVD法による低誘電率薄膜の作成と特性改善: 技術情報協会セミナー No. 609463, 2006年9月27日, 東京・芝・機械振興会館
2005
エリプソメトリ法: 応用物理学会東海支部 第7回基礎セミナー「薄膜の評価技術」, 2005年9月29日〜30日, 名古屋工業大学2号館F1教室
2004
アモルファス低誘電率膜の開発: 第31回アモルファス物質の物性と応用セミナー, 2004年11月25日〜26日, 金沢エクセルホテル東急
プラズマCVDによる薄膜の成膜技術: 技術情報協会セミナー No. 406464, 2004年6月25日, 東京・芝・機械振興会館
2003
プラズマCVDの基礎と最新動向: 第10回プラズマエレクトロニクスサマースクール, 2003年8月6日〜8日, 名古屋市民御岳休暇村
2002
2001
Low-k膜のCVD: 第12回プラズマエレクトロニクス講習会, 2001年12月17日〜18日, 東京工業大学百年記念館,大阪大学接合科学研究所荒田記念館
2000
1999
成膜プロセスにおける表面反応: 第10回プラズマエレクトロニクス講習会, 1999年11月18日〜19日, 慶応義塾大学日吉キャンパス藤山記念館